La CMM semiautomática se puede definir como "un detector que puede moverse en tres direcciones y puede moverse sobre tres rieles de guía perpendiculares entre sí. El detector transmite señales en contacto o sin contacto, y la medición del desplazamiento de los tres ejes El sistema ( como regla de rejilla) calcula cada punto (x, y, z) de la pieza de trabajo y el instrumento para medir varias funciones a través de un procesador de datos o computadora. La función de medición del instrumento de medición de tres coordenadas debe incluir precisión dimensional, precisión de posicionamiento, precisión geométrica y precisión de contorno, etc.