La CMM semiautomatica può essere definita come "un rilevatore che può muoversi in tre direzioni e può muoversi su tre guide tra loro perpendicolari. Il rilevatore trasmette segnali a contatto o senza contatto e la misurazione dello spostamento dei tre assi Il sistema ( come il righello reticolo) calcola ogni punto (x, y, z) del pezzo e lo strumento per misurare varie funzioni attraverso un elaboratore di dati o un computer. La funzione di misurazione dello strumento di misura a tre coordinate dovrebbe includere precisione dimensionale, precisione di posizionamento, precisione geometrica e precisione del contorno, ecc.