O CMM semi-automático pode ser definido como "um detector que pode se mover em três direções e pode se mover em três trilhos guia mutuamente perpendiculares. O detector transmite sinais em contato ou sem contato e a medição de deslocamento dos três eixos O sistema ( como régua de grade) calcula cada ponto (x, y, z) da peça de trabalho e o instrumento para medir várias funções por meio de um processador de dados ou computador. A função de medição do instrumento de medição de três coordenadas deve incluir precisão dimensional, precisão de posicionamento, precisão geométrica e precisão de contorno, etc.