Полуавтоматическая КИМ может быть определена как «детектор, который может двигаться в трех направлениях и может двигаться по трем взаимно перпендикулярным направляющим. например, решетчатая линейка) вычисляет каждую точку (x, y, z) заготовки и инструмента для измерения различных функций с помощью процессора данных или компьютера. Функция измерения трехкоординатного измерительного инструмента должна включать точность размеров, точность позиционирования, геометрическая точность и точность контура и т.д.